项目背景：无尘室芯片超纯水处理系统该项目对超纯水处理要求高，原水水质为企业自来水要求，出水要求要达到芯片清洗水。进水经过预处理工艺，要进入二级反渗透膜工艺，对水质进行除盐过滤。同时，要进行EDI深度除盐处理设计，在末端再经过TOC脱除器脱除有机物以及抛光混床进一步精处理，最终经过超滤膜过滤后，出水水质就可以满足用水点的水质要求。

项目工艺：

水质要求：超纯水的水质指标要求：电导率≥18兆欧、TOC＜3ppb、particle（≥0.1um）＜3pcs/mL

现场照片：